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Nella configurazione attuale di lavoro le sonda è dotata di una lente di
50 mm che fissa la risoluzione possibile in quota attorno ad
1 m, ed un range dinamico di 8 mm restando ad una
distanza di lavoro di 40 mm.
Il sistema a scanner è composto dalla coppia di slitte motorizzate ad alta precisione
(0,1 m) montate ortogonalmente, così da permettere al sistema misure
su un'area massima attorno ai 280 mm2.
La risoluzione trasversale massima è di 20 m,
e la velocità di acquisizione varia tra 100 e 400 punti
al secondo a seconda del passo di campionamento spaziale prescelto.
Il microprofilometro permette di misurare superfici quasi indipendentemente dalla loro
riflettività, e con un angolo di incidenza del fascio laser fino a 85° circa,
molto prossimo alla condizione di radenza alla superficie.
Lo strumento risulta inoltre insensibile ai gradienti di colore, e
quindi adatto a esaminare superfici ricche di dettagli e con elevato contrasto cromatico.
Queste caratteristiche, assieme alla co-linearità dello strumento, permettono di
misurare dettagli molto minuti, sottili incisioni e fori profondi.
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