Il sistema microprofilometrico a conoscopia realizzato dall'INOA è composto da una sonda Conoprobe 1000 della Optimet, movimentata da due slitte motorizzate lineari ad alta precisione.

Il principio di funzionamento della sonda è il seguente: un fascio di luce generato da un diodo laser viene inviato sul campione da misurare, dal quale viene riflesso e retrodiffuso.

Rientrando nella sonda attraversa un cristallo birifrangente uniassiale collocato tra due polarizzatori circolari.

Nel cristallo vengono generati i fasci ordinario e straordinario, che producono un pattern di interferenza su un array di elementi fotosensibili: la misura della forma della figura dei interferenza permette così di calcolare la distanza tra la sonda ed il campione (quota).